1.乱流式:

        空气经由无尘室的风管和空气过滤器(HEPA)通过空调箱进入无尘室，回到无尘室或高架地板两侧两个隔间的无尘室。气流不是直线型运动，而是不规则的湍流或涡流状。适用于1000~100000级无尘房间。

优点:结构简单，系统成本高，易于扩大无尘室。在一些特殊的使用场所，可并用无尘工作台来提高无尘室的水平。

缺点:湍流引起的粉尘颗粒不易排出。此外，如果系统停止并重新启动，则需要很长时间才能达到所需的清洁度。

    2.层流式:

层流式空气气流运动成一均匀的直线形,空气从覆盖率100%的过滤器进入房间,并由高架地板或两侧隔墙板回风,这种类型的装配式（模块式）洁净室,需要使用一个高水平的环境,一般层流式无尘室等级为Class 1~100，可分为两类:

    (1)水平层流式:水平气流通过侧壁回流空气系统从水平方向吹出，粉尘被风排出。一般来说，下游的污染较严重。

        优点:结构简单，运行时间短。

        缺点:施工成本高于湍流型，室内空间不易扩张。

    (2)垂直层流式:房间顶棚完全位于ULPA过滤器罩内。空气可以通过吹扫进行清洁，可以获得更高的洁净度，制造过程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外，不会影响其他工作区域。

        优点:易于管理。运行后能在短时间内达到稳定状态。不容易受到操作状态或操作人员的影响。

        缺点:施工成本高，弹性运用空间肖，吊顶空间大，过滤器维修更换麻烦。

    3.混合类型:

        复合型即合理同时使用乱流型和层流型。可提供局部超净空气

    （1）洁净隧道：用HEPA或ULPA过滤器使覆盖工艺区或工作区达到100%，使洁净隧道的清洁度提高到10级以上，节约安装和运行成本。

        这种类型需要将操作者的工作区域与产品和机器的维修分开，以避免机器维修对工作和质量的影响。大多数ULSI工艺采用这种类型。

        洁净隧道有两个优点：

            a.易弹性膨胀；

            b.设备维护容易在维修区域内进行。

    （2）清洁管：通过生产过程包装和净化自动生产线，提高清洁度100以上。由于产品与操作员之间的分离和粉尘环境，少量的空气供应可以得到良好的清洁、节能，没有手动的自动化生产线是最适合使用的。适用于制药、食品和半导体行业。

    （3）安装和安装局部洁净点：将装配式（模块式）洁净室产品制造工艺区的洁净度从装配式（模块式）洁净室的10000级至100000级提高到10～1000级以上，生产清洁工作台、洁净工作棚、洁净空气柜等。属于这一类。

        洁净台：1~100级。

        洁净工作棚：为在装配式（模块式）洁净室空间无序流动的情况下，将静电透明的塑料圆片导入一个小空间，独立的HEPA和ULPA或空调送风单元和更高级别的装配式（模块式）洁净室，水平10～1000，高度2.5米，在COV下。占地面积约10平方米，有四根柱子和车轮配备活动，可用于弹性。