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用于物料由非洁净区进入洁净区,或由低级别洁净区进入高级别洁净区时的表面净化,可有效去除物料表面的灰尘,防止灰尘被物料携入快装模块化洁净室。气流经初、高效两级过滤器过滤,传递窗内洁净度可达100级。
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