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洁净车间常遇到的三大问题以及解决方法

  洁净车间也算是属于净化车间的一种,洁净车间有它的特殊性,其生产厂房的特点非常鲜明。随着半导体工艺技术的发展,集成电路生产对于洁净车间的洁净度要求越来越高,下面跟冠航科技一起了解一下。

  

洁净车间的第一大难题|高空作业


 

  由于集成电路、TFT-LCD厂房的层高普遍较高,施工的难度非常大,对施工过程的安全保障也提出了更高要求。由于这类厂房的洁净区通常在整栋厂房的第二层,在施工过程中,我们采取分层作业的施工方式,先对洁净区的地板层进行施工,然后以地板层为界面,分为上、下两个层面进行施工,并在下夹层满铺安全网以确保洁净室施工人员的人身安全。

  

洁净车间的第二大难题|大面积精度控制


 

  随着产业的发展,洁净区面积越来越大,地面精度控制要求也越来越高。我们的做法是配置专业的测量人员,设置一条十字基准线作为基准源,建立覆盖全厂房的基准线体系。在施工过程中,用激光扫平仪进行安装高度的调整,并用经纬仪进行不间断复测,从而在大面积的洁净车间内把精度控制在要求范围之内。

  

洁净车间的第三大难题|全过程洁净施工控制


 

  洁净车间相对其他厂房一个最大的特点就是洁净的管控,洁净管控从建厂一开始到最后是全过程的控制,只有通过全过程的控制才能保证建造出来的厂房是符合要求的。一般情况下,洁净车间施工是根据洁净室的装修作为控制的主线来考虑的。整个厂房封闭以后洁净室施工才能开始,如果没有封闭的话,也要采用临时封闭的办法,保证封闭施工作业。

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