无尘车间悬浮粒子浓度,如果使用高性能空气供给系统可以实现零水平，然而实际的生产现场由于作业者、机器和机械尘埃及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的尘埃粒子，因此导致了元件清洁面粒子的污染。

        如何控制无尘车间微粒子浓度?

    1. 不携入人、机、料进无尘车间，不携入微粒子       

     （1）进入无尘车间者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等，再通过风淋室吹淋，高速干净的气流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完毕才能进入无尘车间。

     （2）机器、材料进无尘车间前，应尽可能在密封状态下带进无尘车间前室保养后用水擦拭，经货淋室吹淋或风淋传递窗吹淋后才能进入无尘车间。

     （3）无尘车间中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有过滤器的排气用小型风扇于腰间。  

    2. 无尘车间内动态环境下机、料的控制

        在控制最大污染源--人在无尘车间内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策： 

    （1）减少接触剥离发尘的动作；

    （2）采用磨耗发尘小的材质；

    （3）采用发尘小的润滑油；

    3. 不储备：

        现实中人和物品的频繁出入及机台的制动（动态），无尘车间要想达到动态洁净级别，因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘车间内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进行除电。 

    4. 除去

        在无法避免大量微粒子产生的机器上，为了避免在无尘车间中产生微粒子，直接的外部排气作用称为局部排气。废气排放的对策是:需要进口等量的外部气体，但同时也需要大量的能源消耗。所以这不是一个绝对理想的策略。因此，尽可能在压缩空气量中，不仅要对无尘车间外的废气进行排尘，还要采取空气退尘后对无尘车间的应对措施。