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洁净室空气的流动

        洁净室的清洁度经常受到空气流动的影响,换句话说,来自人、机房和建筑结构的灰尘的移动和扩散是由空气流动控制的。



        无尘室采用HEPA和ULPA对空气进行过滤,粉尘收集率达到99.97~ 99.9999999999995%,通过该过滤器过滤的空气可以说是非常干净的。但是室内清洁除了人以外,还有发尘源等机器,因此,有必要利用气流将尘埃快速排出室外。


        洁净室内的气流式控制洁净室性能的一个重要因素,一般洁净室气流速度在0.25 ~ 0.5米/秒之间,该地区的空气速度属于微风,易受人、机器等的动作而干扰变得混乱,虽然提高风速可以抑制干扰的影响和保持清洁,但由于风速的增加会影响运营成本的增加,所以应该满足的清洁水平的要求,提供最合适的风速,达到适当的风力供应,以达到经济效益。


        另一方面要实现洁净室清洁的稳定效果,匀一气流的保持也是一个重要因素,如果不能维持统一的空气,风速不同,尤其是在壁面,气流沿墙会发生涡流效应,很难实现高清洁度。


        垂直层流方向要保持气流均匀,必须:

        (a)吹出面的风速速度相同;

        (b)底板吸力面风速速度相同。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流现象发生,而在0.5m/s的速度下,气流更加均匀。目前一般的无尘室,风速在0.25m ~ 0.5m/s之间。


        影响洁净室气流的因素有很多,如工艺设备、人员、洁净室装配材料、照明设备等,同时对于分离点以上的空气生产设备也要考虑。


        一般的工作站或生产设备表面上的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3处,这样可以使工人工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走,如果分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,当大部分空气流向过制程区时,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因此会受到污染,降低产量。


        洁净室内障碍物如工作台等,在气流交界的地方会出现涡流现象,附近的地方洁净度会降低,在工作桌面钻上回风孔,会使涡流现象减小到最小;正确选择装配材料和完善的设备布局也是避免涡流现象的重要因素。


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