洁净室的清洁度经常受到空气流动的影响，换句话说，来自人、机房和建筑结构的灰尘的移动和扩散是由空气流动控制的。

        无尘室采用HEPA和ULPA对空气进行过滤，粉尘收集率达到99.97~ 99.9999999999995%，通过该过滤器过滤的空气可以说是非常干净的。但是室内清洁除了人以外，还有发尘源等机器，因此，有必要利用气流将尘埃快速排出室外。

        洁净室内的气流式控制洁净室性能的一个重要因素，一般洁净室气流速度在0.25 ~ 0.5米/秒之间，该地区的空气速度属于微风,易受人、机器等的动作而干扰变得混乱，虽然提高风速可以抑制干扰的影响和保持清洁，但由于风速的增加会影响运营成本的增加,所以应该满足的清洁水平的要求，提供最合适的风速，达到适当的风力供应，以达到经济效益。

        另一方面要实现洁净室清洁的稳定效果，匀一气流的保持也是一个重要因素，如果不能维持统一的空气，风速不同，尤其是在壁面，气流沿墙会发生涡流效应，很难实现高清洁度。

        垂直层流方向要保持气流均匀，必须:

        (a)吹出面的风速速度相同;

        (b)底板吸力面风速速度相同。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流现象发生，而在0.5m/s的速度下，气流更加均匀。目前一般的无尘室，风速在0.25m ~ 0.5m/s之间。

        影响洁净室气流的因素有很多，如工艺设备、人员、洁净室装配材料、照明设备等，同时对于分离点以上的空气生产设备也要考虑。

        一般的工作站或生产设备表面上的气流分流点，应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3处，这样可以使工人工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走，如果分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，当大部分空气流向过制程区时，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因此会受到污染，降低产量。

        洁净室内障碍物如工作台等，在气流交界的地方会出现涡流现象，附近的地方洁净度会降低，在工作桌面钻上回风孔，会使涡流现象减小到最小;正确选择装配材料和完善的设备布局也是避免涡流现象的重要因素。